일본 정부가 대(對)한국 수출 규제 조치를 단행한 반도체 핵심소재 3개 품목 중 하나인 불화수소 수출을 규제조치 이후 이례적으로 허가했다. 지난달 4일 규제가 시작된 이후로 약 두 달 만에 처음이다.

29일 업계에 따르면 일본 경제산업성은 이날 반도체 제작 핵심소재인 불화수소 수출 1건을 승인했다. 수출허가를 받은 불화수소는 국내 생산이 어려운 고순도 불화수소로 알려졌다. 수요기업은 삼성전자인 것으로 확인됐다.

고순도 불화수소는 반도체 기판인 실리콘웨이퍼에 그려진 회로도에 따라 기판을 깎아내는 식각 공정에 쓰이는 핵심소재다.

일본 정부는 지난달 4일 고순도 불화수소, 플루오린 폴리이미드, 극자외선(EUV) 파운드리용 포토레지스트(감광재) 등 3개 품목에 대한 수출심사를 강화했다. 이중 포토레지스트만 지난 7일과 19일 두 차례 수출을 허가해 한국에 반입됐다. 불화수소 수출이 허용된 것은 이번이 처음으로 매우 이례적이다.

권병찬 kbc77@hanmail.net